Сенсоры физических величин

Разработка и производство высокостабильных промышленных сенсоров физических величин является одним из ключевых направлений предприятия.

Применяются сенсоры в приборах измерения давления и силы и во многом определяют технический облик таких устройств. Использование в конструкции приборов структур «кремний на сапфире» и «кремний на диэлектрике» позволяет обеспечить высокую стабильность характеристик в широком диапазоне температур и давлений сред.

Технология «кремний на сапфире»

На поверхность структуры из монокристаллического сапфира методом микроэлектроники (эпитаксия, окисление, ионная имплантация, фотолитография, металлизация) групповым способом формирует кристалл, содержащий тензорезистивный мост из кремниевых тензорезисторов и контактные площадки.

После контроля параметров и резки пластины, каждый из отделенных кристаллов припаивается по специальной технологии к титановой мембране, которая лазерной сваркой крепится к корпусу сенсора.

Подложка из монокристаллического сапфира, применяемая в конструкции сенсоров, является идеальным упругим элементом и обладает уникальными характеристиками при воздействии деформаций, сохраняя упругие свойства до 400 °C.

Высокостабильные промышленные сенсоры (тензопреобразователи) физических величин могут быть использованы в составе измерительных приборов, где необходимо преобразование силы или давления неагрессивных к титану, некристаллизующихся (не затвердевающих) сред в пропорциональный электрический сигнал. В настоящее время сенсоры давления нашего производства находят свое применение практически во всех отраслях промышленности: нефтедобывающая и нефтеперерабатывающая, газодобывающая и газоперерабатывающая, химическая, медицинская, пищевая, энергетика, предприятия военно-промышленного комплекса и другие.

ОСОБЕННОСТИ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ

Конструкция тензопреобразователей изготовленных с применением титанового сплава и чувствительного элемента на основе структуры «кремний на сапфире» (КНС), «поликремний на диэлектрике», позволяет получать надёжные приборы, обладающие высокими техническими и эксплуатационными характеристиками:

  • высокая температурная стабильность характеристик;
  • малая величина гистерезиса;
  • широкий диапазон рабочих температур;
  • высокий уровень выходного сигнала;
  • высокая перегрузочная способность;
  • высокая степень защиты от агрессивных сред.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  • Группа 3 – термокомпенсированные тензопреобразователи
  • Группа 4 – не термокомпенсированные тензопреобразователи
Термокомпенсированные тензопреобразователи отличаются повышенной стабильностью нулевого сигнала во всем рабочем интервале температур
Номинальные значения преобразуемого параметра серии Д, МПа 0,1; 0,6; 2,5; 6,0; 16,0; 25,0; 40; 60,0; 100,0; 160
Номинальные значения преобразуемого параметра серии С, Н 5; 50
Электрическое питание тензопреобразователей осуществляется постоянным током, мА 1,5 ±0,3
Допускается питание постоянным напряжением, не более, В 13
Масса тензопреобразователей не более, г 35
Начальное значение выходного сигнала при нулевом значении преобразуемого параметра, не превышает по абсолютной величине, мВ: 10
Диапазон изменений выходного сигнала, соответствующий номинальному значению преобразуемого параметра, должен находиться в пределах, мВ
• для Д0,1
• для Д0,6
• для остальных тензопреобразователей
от 90 до 200;
от 170 до 440;
от 220 до 440
Изменение нулевого сигнала в рабочем интервале темперетур по абсолютной величние, не более (мВ/10 °С)
• для Д 0,1
• для остальных тензопреобразователей:
– группа 4 (не термокомпенсированные ТП)
– группа 3 (термокомпенсированные ТП)
2,0

2,0
0,3
Нелинейность выходного сигнала в нормальных условиях, не более, % от диапазона выходного сигнала
• для Д 0,1
• для Д 0,6
• для остальных тензопреобразователей
0,4
0,2
0,15
Перемещение конца рычага, должно быть в интервале, мм 0,25 ±0,03
Величина сопротивления моста, должна находится в пределах, кОм
• для группы 3
• для группы 4
4,50 +0,35 -0,50
4,50 ±0,35
Вариация выходного сигнала, должна быть не более, % 0,1
Диапазон рабочих температур, °С -50 +80
Диапазон предельных температур, °С -60 +125
Среднее время наработки на отказ, час 45 000
Гарантийный срок, месяц 18

КОМПЛЕКТНОСТЬ ИЗДЕЛИЯ

Наименование Обозначение Кол., шт Примечание
Тензопреобразователь Согласно заказу 1 В соответствии с договором на поставку
Паспорт АГБР 408854.001 ПС 1
Руководство по эксплуатации АГБР 408854.001 РЭ 1 На 100 шт. или в один адрес